why polysilicon?
电子科学与技术专业英语LPCVD和PECVD的比较
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2006/04/26 20:44]
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(2006-04-26 16:33:10) 山杉(40941292)
sorry现在才看到你的问题，LPCVD优点比较多，大致为
1,better thickness uniformity
2,low impurity contamination
3,more dense
一般会用在比较critical的layer上
PECVD throuhgput较快，但film的quality会差点,一般用在比较不重要的layers
sorry现在才看到你的问题，LPCVD优点比较多，大致为
1,better thickness uniformity
2,low impurity contamination
3,more dense
一般会用在比较critical的layer上
PECVD throuhgput较快，但film的quality会差点,一般用在比较不重要的layers
